装置構成

バイオナノテク関連装置

光電子分光装置(XPS)
光電子分光装置(XPS)
X線を材料表面に照射することにより、材料の最表面(深さ1?10ナノメートル)の化学結合状態についての情報を得ることができる装置です。薄層における化学結合状態の観察ができます。
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光電子分光装置(XPS)の特長
高空間分解能XPS分析(30μm)から広域XPSイメージ(50mm×18mm)まで
磁界?電界インプットレンズによる高感度測定
高精度の波形分離ソフトウエアによる、容易な化学状態分析
全反射XPSによる高感度な表面極微量元素の測定
光電子分光装置(XPS)の対象物
静電半球形アナライザ中心軌道半径100mm
エネルギー掃引0?1,500eV
CAE法パスエネルギー 5?200eV
CRR法?E/E0.15?0.5%
設置場所: バイオナノテクセンター(片柳研究所棟 地下1階分室1)
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