装置構成

超微細加工?製造装置

スピンコーター〈ミカサ製〉
スピンコーター〈ミカサ製〉
半導体製造のホトリソ工程においてシリコンウエーハ、ガラスなど平坦な基板にフォトレジスト等を滴下し、基板表面に数ミクロンくらいのフォトレジスト膜を均一に形成させる装置です。
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スピンコーター〈ミカサ製〉の特長
コンパクト?多機能設計のコストパフォーマンス機
マイコン搭載型で回転制御が可能(回転、停止、スローアップ、スローダウン)
多段式、100ステップまで設定可能
回転精度の高さ、設定回転数に対して±1rpm(無負荷時)、回転数300?8,000rpm
プログラム式多機能機
角基板等に便利な停止位置設定機能
試料はφ4インチまで対応
装置寸法:260W×330D×230H(mm)
設置場所: バイオナノテクノロジーセンター(片柳研究所棟6階)
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